용도 예) ■ 기계내 반송장치 ■ 반도체 제조 장치 ■ 액정 제조 장치
- 제품특징 -
● 기계의 이송기구를 다이렉트화하고 기계의 고속 고정도 위치 결정을 실현.
● 흡인력이 없으며 저소음화 및 가이드의 장수명화를 실현.
● 코깅이 없고 저추력, 저리플화에 유리.
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